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技术指标: XY有效行程:500mmX500mm 平台定位分辨率:5um~0.01um 重复定位精度:2um 最大速度:2500mm/s 最大运行加速度:2G 负载能力:30Kg 龙门式结构,三轴联动。增加力矩电机即可构成四轴平台系统
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