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深圳市中图仪器股份有限公司

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提供SJ6000激光干涉仪

提供SJ6000激光干涉仪

产品名称: 提供SJ6000激光干涉仪
产品型号: SJ6000
基本参数: 560mm×460mm×270mm

  产品介绍:

    1. 功能特点
    1.1. 产品功能特点
    SJ6000激光干涉仪测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨力可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
    具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
    可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为机床误差修正的提供依据。
    具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线) 及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测量与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析等。
    内置国内外通用的标准,含国标(GB) 、ISO(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共10份 。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
    可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动进行环境补偿。
    测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word、Excel文档。
    安装方便:基本重量为15kg,简单便携。
    1.2. 分析标准配置
    激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准:
    数据库内置的常用标准
    序号 标准号 标准名称
    1 ISO230-2 老版国际标准
    2 ISO230-1997 新版国际标准
    3 ANSI B5.54 美国国家标准
    4 ASME B89.1.12M 美国机械工程师协会标准
    5 NMTBA 美国机床协会标准
    6 BS 3800 英国机床标准
    7 BS 4656 英国三测机标准
    8 JIS B6330 日本国家标准
    9 GB 17421-2000 中国国家标准
    10 VDI 3441 德国机床标准
    2. 技术指标
    2.1. 技术指标
    系统性能
     测量方式:单频
     稳频精度:0.05ppm
     动态采集频率:50 kHz
     预热时间:约6分钟
     工作温度范围:(0~40)℃
     环境温度范围:(0~40)℃,环境湿度:(0~95)%RH
     存储温度范围:(-20~70)℃
    环境补偿示值误差
     空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
     材料温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
     空气湿度传感器:±6%RH (0~95) %RH
     大气压力传感器:±0.1kPa
    线性测量
     测量距离:(0~40)m
     测量精度:0.5ppm (0~40)℃
     测量分辨力:1nm
     测量*大速度:4m/s
    角度测量
     轴向量程:(0~15)m
     测量范围:±10°
     测量精度:±(0.04%R)″ (R为显示值,单位:″)
     测量分辨力:0.1″
   
    平面度测量
     轴向量程:(0~15)m
     测量范围:±1.5 mm
     测量精度:±(0.6%R+0.02 M2) μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
     基板尺寸:180mm可调,360mm可调
    测量分辨力:0.1μm
    直线度测量
     轴向量程:(0.1~4.0)m
     测量范围:±3mm
     测量精度:±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
     测量分辨力:0.01μm
    垂直度测量
     轴向量程:(0.1~3.0)m
    测量范围:±3mm
     测量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
     测量分辨力:0.01μm/m
    回转轴精度测量
     角度测量范围:(0~360)°
     测量精度:±1″
    *高转速:10rpm
    锂电池供电,蓝牙传输数据。
    5.2. 尺寸重量与供电
     便携箱尺寸: 560mm×460mm×270mm
     基本重量(含三脚架,包装):15Kg
     供电电源:(100~240)VAC
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