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产品介绍：
Auto RF Match VENA系列说明
VENA系列自动匹配器用于0-1500W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；目前国内主要真空设备厂家的产品大多使用手动匹配器，使用起来十分不便，在设备启动后抽真空加功率起辉过程中，要不断地调整手动匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求，而自动匹配器则可以弥补这一缺陷，具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。产品覆盖500W, 1000W, 1500W等功率。
VENA-500
主要功能特性
频率 13.560MHz
最大传输功率 500w
反射功率（最大功率时） <3w
最大负荷电流 10ARMS
最大负荷电压 4000VRMS
传输效率 >90%
负载阻抗 50Ω
RF输入连接器 50 Ω, UHF（或N-type）, female
最大等离子直流偏置电压 0 to 2.000 VDC
直流偏置电压检测值 0~5VDC
匹配时间 3~5s
主电感 8圈
主电容 空气电容
可匹配阻抗实部范围 0~80Ω
可匹配阻抗虚部范围 -j200~~+j100
RF输入连接器 50 Ω, UHF（或N-type），可自定制
接口与冷却方式
控制接口 自动手动控制窗口
冷却方式 风冷
风流量 48CFM
电源
AC电源 220VAC
AC频率 50/60Hz
电源功率因素 90%(最大功率时)
机械特性
表面安装螺丝 6-32螺丝
重量 5kg
尺寸 430mm（D）x220mm（W）x130mm（H），或可自定制
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