中国科学院微电子研究所射频电源课题组 - 中国自动化企业中心

中国科学院微电子研究所射频电源课题组

企业目录

企业首页

    中国科学院微电子研究所射频电源(RF Generator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“ 六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。

    从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖。

中国科学院微电子研究所射频电源课题组

联系地址：北京市朝阳区北土城西路3号邮政编码：100000

联系电话：18500193075 传真：010-82995652 电子信箱：qinwei@ime.ac.cn 管理入口

中国工控网（www.chinakong.com）技术支持