人们常常采用高温的方式去水溶于水中的各种气体，而超纯水设备工作温度远远达不到高温的条体。在超纯水设备中有几处具有去除气体的流程。
活性炭。活性炭具有超强吸附情，在源水经过活性炭时，除了能吸附微粒子等，还能吸附气体，在工业生产中也常常采用活性炭除臭。活性炭有很多种，好的活性炭是果壳活性炭，含碳量高，肯吸附性强。在超纯水设备的活性炭成为了去除气体的一关。除此之外，超纯水设备还有更高级的去除气体的环节，不同的厂家采用不同的方式去除。
另外，为了保证超纯水设备在去除气体后不会二次污染，超纯水设备采用了全封闭设计，超纯水设备还在取水口采用能防止气体回流的终端微滤。从而保证了超纯水制取的超纯水中不含有气体杂质。
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