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muRata SCB10H系列气压传感器[热门产品推荐] |
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muRata SCB10H系列气压传感器是高性能的绝压测量元件,该产品采用了基于村田下属VTI的3D-MEMS硅电容技术。具有与压阻式传感器不同的三维结构,它是由两个硅晶片和一个玻璃晶片以阳极键合的方式组成,通过硅晶片因外部压力形变而引起电容变化的方式进行测量。
由于在该结构中采用的玻璃晶片相对较厚,从而使得电极间具有了较高的绝缘阻抗,因此减小了漏电流和杂散电容的存在。同时SCB10H以总电容30%-50%的区间值作为其测量范围,使得传感器在低电流的情况下也能获得精确的测量值和较高的信噪比,且传感器的耐压性好,可承受高出测量值范围许多的压力。
muRata SCB10H系列气压传感器目前主要有三个型号,分别对应30KPa-120KPa,100KPa-800KPa,100KPa-2500KPa三个测量范围。该产品为OEM厂商集成压力测量功能提供了绝佳的解决方案,主要可用于医疗设备、流量计、气压计和测高仪等设备中。
muRata SCB10H系列气压传感器具有以下主要特征:
极低功耗
高精确性
高过压和震动耐久性
小尺寸1.4×1.4×0.85mm
抗高压冲击(>200bar)
高绝缘电阻(>10GΩ)
符合RoHS标准
不同的压力测量范围
电容型3D-MEMS技术
工作在接近真空的应用中
产品源自传感器专家网:http://www.sensorexpert.com.cn/ |
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