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    东莞市汇成真空科技有限公司在十多年里发展，为厂大的真空镀膜厂家服务，销售与维护真空镀膜机，会遇到一些真空镀膜机常见故障。本章将介绍真空镀膜设备常见故障及解决办法。一、真空镀过程中，真空度突然下降：
    1、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
    2、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）
    3、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）
    4、坩埚被打穿（更换坩埚）
    5、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
    6、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）
    7、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
    8、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
    9、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）
    10、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
   
    东莞市汇成真空科技有限公司 专业真空设备制造商http://www.suichenggd.cn/

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