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东莞市汇成真空科技有限公司在十多年里发展,为厂大的真空镀膜厂家服务,销售与维护真空镀膜机,会遇到一些真空镀膜机常见故障。本章将介绍真空镀膜设备常见故障及解决办法。一、真空镀过程中,真空度突然下降: 1、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 2、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈) 3、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常) 4、坩埚被打穿(更换坩埚) 5、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃) 6、高压电极密封处被击穿(更换胶圈) 7、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 8、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 9、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈) 10、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 东莞市汇成真空科技有限公司 专业真空设备制造商http://www.suichenggd.cn/
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