真空镀膜设备的真空泵连续使用3～4个月以后, 即应换油。在湿度较大的环境下使用, 应酌情缩短换油期。真空镀膜设备的真空泵换油方法如下: 将泵从系统上拆下, 用干净的方盘接在放油孔下, 旋下注油塞和放油塞, 放出污油,断续启动电机4～6次, 使真空镀膜设备各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200～300CC, 断续启动电动机, 再次清洗各真空室。这样, 经2～3次重复清洗, 放光清洗用油, 旋上放油塞, 从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置,旋紧注油塞不使漏气。换油最好在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆卸的清洗； 平时也要注意保护进气口, 检查滤网, 防止灰尘、杂质进入泵内, 弄污泵油、损坏真空室。
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