真空镀膜设备必须在真空状态下进行工作的，那如何获得真空状态呢，它是包括几个部分的，分别是机械泵、分子泵、光压仪、真空系统。
机械泵是用来获得真空、改善和维持真空的装置，简称为真空泵。
分子泵是利用高速旋转的涡轮叶片, 不断对被抽气体分子施以定向的动量和压缩作用, 将气体排除, 是一种纯机械的高速旋转的真空泵。
光压仪是针对太阳能的利用, 有太阳能热水器、太阳能电池、太阳能发电站, 太阳能温室、太阳能灶等, 但是对光压力的利用还很少。
真空系统是玻璃系统匡架结构, 可作的内容有真空的获得、真空检漏、热偶规真空测量低真空, 改变被抽体积V1V2, 可以得到不同的抽速。
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