1、原水箱，功用：贮存系统原水，对进水起调节作用，也对进水中的杂质起一定的沉淀作用。
2、砂滤器，功用：初步去除水中泥沙、杂质、悬浮物以及其它微粒等降低水的浊度。
3、碳滤器，功用：利用碳的吸附原理吸附水中异色、异味、余氯等。
4、软水器，功用：利用阳树脂置换水中的钙镁离子，降低水的硬度。
5、保安过滤器，功用：防止大颗粒杂质进入反渗透膜，造成对膜的损坏，保护反渗透膜。
6、反渗透主机，功用：主要是通过反渗透过滤，达到生产纯水之目的。
7、纯水箱，功用：储存反渗透产水，为用水点提供水源。
8、纯水增压泵，功用：为混床系统提供动力源。
9、混床系统，功用：利用阳阴树脂吸附置换水中阳阴离子，使出水达到超纯水标准。
10、超纯水箱，功用：储存混床产水，为用水点提供水源。
11、超纯水增压泵,功用：为用水点输送纯水。
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