超纯水设备的压力表、流量计在使用前没有进行校正，导致读数不准确。压力表的安装位置距离压力容器两端较远，其读数中含有管路的压力损失，但是被作为进水压力时则会导致进水压力偏低，从而导致产水量偏低。
当进水温度比初始设计时要低时，超纯水设备进水温度每降低3℃，就会导致产水量降低约10%。当进水电导比设计值高很多时，对于氯化钠溶液每增加1000ppm，则会导致渗透压增加约11.4psi，在相同进水压力下，超纯水设备的产水量就会降低。
在相同的进水压力下，由于产水侧设置憋压或者是产水管路偏小、输送点高远，因此造成阻力较大，导致净压力减少，产水量降低。
若湿膜元件保存不到位或者是湿膜元件装入系统后未采取保护措施，使得膜元件变干，从而导致通量会大幅度衰减或者是无通量，从而导致超纯水设备系统的产水量降低。超纯水膜元件的运行需要较好的给水，在给水进入超纯水膜元件之前要经过石英砂、活性炭、软化器等前端处理，如果水质太差，就会很容易造成膜元件结垢或者是污染甚至破损。导致超纯水设备产水量低，压力高的主要原因便是膜结垢。
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