快速或突然的性能下降表明超纯水成套设备有缺陷或误操作，尽早采取相应的纠正措施十分必要，因为任何的拖延处理将会丧失恢复系统性能的机会，同时也会出现极低的产水量和极高的产水含盐量TDS。
正常地记录运行数据并对超纯水成套设备性能进行标准化处理，对尽早发现潜在问题十分必要，它包括对所有的仪表进行正确的校正，没有准确的数据，等到出现问题可能就会太迟了。一旦发现性能下降，解决问题的第一步就是确定问题的所在位置以及找出问题的原因，可以使用运行参数记录表或某些在线测量仪表来实现，如果系统配套有必要的取样点或仪表，就能更加有效地进行故障排除。
如果超纯水成套设备数据不足以确定原因和采取纠正措施，必须从系统中取出一个或一个以上的反渗透膜进行分析，这种针对反渗透膜性能的分析包括非破坏性和破坏性的分析。
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