1、低压冲洗技术清洗法：在日常生活中我们在使用超纯水设备的同时也要冲洗设备，因为长时间使用会造成超纯水设备污染导致设备不能正常工作。我们应该定期采用低压冲洗技术对设备表面污垢进行清洗。
2、停止设备运行保护法：长期运行设备，超纯水设备技术会出现波动，超纯水设备一旦处理不合理会导致设备的膜性能下降，严重可能导致不能使用。我们在短时间采取保护措施，适当停止设备运行也是设备清洗保护的一种方法。
3、化学清洗法：超纯水设备的膜式表面很容易被一些微生物或无机物覆盖影响运行能力，我们理想的清理时间是每半年清洗一次，如果超纯水设备每个月都需要清洗一次，说明我们需要调整设备参数，改善预处理系统了，为此化学清洗超纯水设备的膜也是保护超纯水设备系统的一种方法。
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