电子工业超纯水设备安装主要包括三个部分：设备的搬入及安装，超纯水设备水站局部施工难度大。共用管架的制作装置以及管道的装置。设备的移入一定要注意编制详细的设备吊装方案，特别是对于超重、超大、易损设备，千万不可以野蛮冒险施工。共用架台的施工要注意两个环节：
最好采用预埋铁板，若因种种原因不能预埋的
一、架台与土建结构连接处一定要坚固。则应用化学铆栓固定在梁上，不应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓固定在楼板上，以免管道与共架接触部位由于应力不均匀引起管道弯曲破损。水站的管道施工除CDA 氮气及热交换器用的蒸汽或冷热水管道可以按系统进行施工。
二、整段管架一定要保持水平。其他站内管道施工可分为两大部分，即共架管道施工和设备周边配管施工。开工初期两局部可以同时进行施工。当共架直管段与设备本体配管完成之后，应该从设备周边管道向共架管道进行连接配置，最终与共架管道相连形成封闭的管路系统。超纯水系统管道施工与其他一般动力管道施工有很大区别，除了要保证管道系统的密闭性外，还有更加重要的一点，就是要在施工过程中一定要保证管道的洁净。
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