1、原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。
2、机械过滤：通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质，如铁锈和其他悬浮物等。
3、活性炭过滤：活性炭是广谱吸附剂，可吸附气体成分，如水中的余氯，吸附细菌和某些过渡金属等。氯气能损害反渗透膜，因此应力求除尽。
4、反渗透膜过滤：可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。
5、紫外线消解：借助于短波(180nm-254nm)紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，如甲醇、乙醇等，使其转变成CO2和水，以降低TOC的指标。
6、离子交换单元：已知混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。借助于多混床获得超纯水也并不困难。但水的TOC指标主要来自树脂床。因此，高质量的离子交树脂就成为成败的关键。所谓高质量的树脂，就是化学稳定性特别好，不分解、不含低物、单体和添加剂等的树脂。
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