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半导体气体分析仪 |
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目前,半导体气体敏感元件,大多是以金属氧化物半导体为基础材料。当被测气体在该半导体表面吸附后，引起其电学特性（例如电导率）发生变化。利用这种现象，制造成的各种半导体气体敏感元件，进入商业市场已有二十多年，其应用领域日益扩大。但是，半导体气体敏感元件的工作机理至今尚不十分明确。目前比较流行的几种定性模型是：原子价控制模型、表面电荷层模型、晶粒间界垫垒模型。
一 半导体气体敏感元件的特性参数
1气体敏感元件的电阻值
2气体敏感元件的灵敏度
3气体敏感元件的分辨率
4气体敏感元件的响应时间
5气体敏感元件的恢复时间
6气体敏感元件的初期稳定时间
7气体敏感元件的加热电阻和加热功率
二 烧结型气体敏感元件
1直接加热式气体敏感元件
2旁热式气体敏感元件
半导体气体敏感元件是半导体气体分析仪的主要测量部件。
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