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 ○共有28个《松下特殊用途传感器》  共3页   第1页   末页  下一页  

《松下特殊用途传感器》分类:

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    M-DW1晶圆定位传感器采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器。以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员,十分危险。M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。
    氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。而LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。
    HD-T1系列LED型晶圆校准传感器使用安全的LED光确保分辨率30μm下的高精度检测。
    EX-F70系列、EX-F60系列渗漏检测传感器利用毛细管现象,迅速检测少量的漏液和带粘性的液体。
    当有渗漏发生时,投光部的光束散射过漏液,但却不传输至受光部。
    松下EX-F60系列放大器内置型渗漏检测传感器使用说明书(中文)
    松下EX-F70系列放大器内置型渗漏检测传感器使用说明书(中文)
    松下EX-F70系列、EX-F60系列渗漏检测传感器CAD文件

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