多晶硅超纯水设备原理
多晶硅超纯水设备中EDI系统是利用混和离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，被吸附的离子在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被除去的过程。电渗析器的一对电极之间,通常由阴膜,阳膜和隔板多组交替排列构成浓室和淡室(即阳离子可透过阳膜,阴离子可透过阴膜)。淡室水中阳离子向负极迁移透过阳膜，被浓室中的阴膜截留，水中阴离子向正极方向迁移阴膜，被浓室中的阳膜截留，这样通过淡室的水中离子数逐渐减少成为淡水，而浓室的水中由于浓室的阴阳离子不断涌进，电介质离子浓度不断升高而成为浓水，从而达到淡化、提纯、浓缩或精制的目的。
多晶硅超纯水设备工艺
1、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤→阴树脂过滤→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点(离子交换方式)
2、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透→PH调节→中间水箱→二级反渗透→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点(两级反渗透方式)
3、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点(EDI方式)
4、原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
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