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2011年（截止目前2011-8-11）特气环保工作 |
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2011年（截止目前2011-8-11）特气环保工作
一、有害物环保处理工作：
1、 工艺废气中粉尘的过滤、收集；
工艺废气所含粉尘主要成分为气相二氧化硅，其除尘方式为在线过滤式，目前特气每月收集粉尘频次为每月2次，平均每次55袋，每月平均累计110袋。
2、 尾气HF气体的处理。
尾气中HF去除工艺原理为Na0H碱液喷淋吸收方式。2011年至今累计使用NF3气体为（7+0.5）*320=2400kg，折合HF为2371标方。
3、 工艺废水、废渣处理。
废水处理：2011年特气处理废水2*2*1*3.5*4≈46吨。处理目的主要去除碱液中所含的氟离子。该环保处理工艺原理主要是靠石灰水中的钙离子和废液中的氟离子化合生成难溶物氟化钙。除氟离子后的废碱液用工业废盐酸中和，然后自然蒸发剩下废渣。
废渣处理：废渣处理工艺主要是将尾气废水除氟离子产物氟化钙和未反应完的钙盐从废水池中挖出，晾晒，保存待集中处理。
4、 钢瓶更换操作过程中的特气无害处理：
钢瓶更换前的气柜管路特气排放处理，主要依靠供气现场的local scrubber进行化学药剂吸收。2011年PH3钢瓶更换8次约合处理排气8*6*1*3.1415*6.35*6.35/4/1000=1.52升，NF3更换9次，约合处理量9*6*20*6.35*6.35/1000≈43.5升；硅烷无害处理主要靠其缓慢排出后的自然燃烧。2011年硅烷更换28次，约合处理量28*6*10*6.35*6.35/1000≈67.74升；
其它如甲烷、TMB气体暂不计算。
二、环保方面工艺改进工作：
1、尾气喷淋塔的喷淋效果改进。今年7月份特气对尾气喷淋塔内的喷淋头进行了改进，改进以后，喷水雾效果比以前大大提高，确保了废气喷淋碱洗无死角。
2、新上2#PECVD配套的尾气处理设备。3月份增加了喷淋塔一套、布袋脉冲除尘器一套，确保尾气有害成分能充分吸收处理。
3、今年3月、6月对1#2#喷淋塔，8月份对3#喷淋塔进行了累计5套次的填料结晶盐清理、清洗。有效保障了废弃在喷淋塔内的畅通，分散，提高了氟化氢的吸收处理效率，降低了风机等主要配套能耗设备的电耗。
三、节能降耗方面的工作：
1、6月份特气对尾气3#喷淋塔附属泵体改造。改造后由原来2台提升泵同时开启变为开启一台喷淋泵即可有效保证喷淋效果。改造后每天可节电24*5.5=132KW，每年保守估计按运行300天计算，年累计可节电132*300=39600KW;
改造后原来的2台泵实现了一用一备，可极大降低因泵体故障导致系统停运的时间，为车间生产的持续稳定运行打下基础。
2、制氢开车时间调整：由于目前生产用氢气小于我公司氢气设备产能。氢气为间歇式生产。水电解制氢属于高耗能生产工艺，为了降低用电成本，特气尽量将开车时间避开每日用电高峰期，选在夜间开车。一定程度上降低了公司的用电成本。
3、特气的节约：
处于安全和纯度考虑，加上生产对管道压力的要求，特气钢瓶在更换时需要有一定的余压。特气人员积极和东莞专家及carson交流商讨，在保证生产用气及安全的情况下，逐步降低特气钢瓶切换余压。节省了车间的用气成本。
以TMB气体为例，一瓶TMB气体满瓶压力为700PSI，公司采购价格为7.6万元，平均折合价格为7.6/700=0.01086万元/psi；经过长时间的摸索，我们已经将钢瓶更换余压由原来的120psi降低至80psi，每瓶节约压力120-80=40psi，折合经济效益0.01086*40=0.4343万元。目前TMB使用量为每月至少2瓶，按目前1台PECVD用气量计算，每年至少可节约公司生产成本0.4343*2*12=10.42万元。目前我们已经对硅烷、磷烷、甲烷、NF3等气体都做了切换余压调整。整体节约经济成本非常可观。
3、节能检查工作：
特气每周2次对公司进行节能监督检查，发现有跑冒滴漏以及用水电气浪费现象，及时反馈车间联络人员并提交动力部，动力部联系相关部门负责人进行整改。对于发现的一些问题，我们有记录汇报，有整改跟踪，有效果反馈。
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