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发表人:hcvac002 发表时间:2013/5/24 9:27:00  

 

 本栏论题: 汇成真空开发的多弧离子真空镀膜机  [1605]

    
    多弧离子真空镀膜机始于上个世纪70年代,采用真空环境下引火器引燃弧光放电源(阴极)与真空室(阳极)之间形成自持弧光放电,使从阴极弧光辉点射出的阴极物质离子形成空间电荷层,产生强电场,使阴极表面上功函数小的开始发射电子;电流局部集中产生的焦耳热使阴极材料局部地爆发性地等离子化,发射电子和离子,同时也放出熔融的阴极材料,在工件偏压的作用下与反应器件化合而沉积在工件表面上,从而在工件上形成被镀的膜。多弧离子真空镀膜机是一种高效、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。
    多弧离子真空镀膜机离化率高沉积速度高,适用于镀制装饰膜和超硬耐磨膜。多弧离子镀膜机的基础上配置圆柱靶或平面磁控靶,结合磁控溅射低温、稳定的优点,适合镀单层膜和各种复合膜层。如:金色的氮化钛,黑色的碳化钛,七彩的氮氧化钛等,亦可镀防腐蚀膜。
    汇成公司着力改进圆形电弧蒸发源,同时着力开发高性能矩形平面电弧蒸发源,均已装配新机。
    汇成公司可根据用户要求设计各种规格型号的真空镀膜机。真空机组及电控系统也可根据用户要求进行设计配置。
   
    汇成真空科技有限公司 专业真空设备制造商http://www.suichenggd.cn/

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