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    随着加工件对工艺要求的增加，真空镀的工艺也随之发展，对真空镀膜机的结构与功能也做出改进。真空镀膜机移动靶装置包括沿导轨移动吊装磁控靶的移动装置，柔性冷却管和电缆，滑轮组，冷却管和电缆输入端子，无级变速装置及磁控靶，具有镀膜室比较小，移动靶装置结构简单，易于控制，被镀工件镀膜均匀等特点。
    滚筒静电装置包括主滚筒、副滚筒和机架，主滚筒和副滚筒平行固定在机架上，在主滚筒和副滚筒之间连接有整流器和交流电源，通过整流器将交流电源接入滚筒，使得滚筒与薄膜带上静电，提高薄膜与滚筒的贴合，从而提高薄膜的平整度和耐电压值。
    立体抽气系统该系统利用一个支架将整个系统的结构、管路进行立体式配置，大大缩小了整个排气系统的体积、节约了系统的占地面积，同时缩短了整个系统的管道线路，有效提高了泵的抽速和效率。
    自动升压装置包括恒流板，与恒流板相连接的电位器，恒流板与电位器之间的线路上再连接一个继电器和电位器并在该继电器的线圈上接控制开关；本装置在原来控制电路的基础上，增加一个继电器和电位器，通过对新增继电器内线圈施加电压，让控制线路转换到新增的电位器上，得到一个比原电位器大得多的电流，从而使得电压很快升上去，缩短了镀膜机启靶升压时间，提高了工作效率，且整个控制电路自动升压，不易产生误差，操作方便。
   
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