工业超纯水系统最基本的部分是预处理部分，系统的预处理常常由石英沙过滤装置，活性碳过滤装置，精密过滤装置组成，他们主要目的是去除原水中含有的泥沙、铁锈、胶体质、 悬浮物，色素、异味、生化有机物，降低水的余氨值及农药污染等有害的物质。当原水中钙镁离子含量较高时，还需适当的增加软水装置，主要目的在于不对后面的反渗透膜受到大颗粒物质的破坏，从而延长反渗透膜的使用寿命。
然后就是很主要的反渗透系统，主要由增压泵，膜壳，反渗透膜，控制电路等组成，是整个水处理系统中的核心部分，产水水质的好坏主要也取决该部分。只要膜的型号及增压泵的型号选取得当，反渗透主机对水中盐分的过滤能力都能达到99%以上，出水电导率可保证在10us/cm(25度)以内。
最后就是后面的一些处理部分，他们主要是对反渗透主机制取的纯水作进一步的处理，如果后续工艺接离子交换或电去离子(EDI)设备，则可以制取工业用超纯水。
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