1、水满后机器反复起跳。超纯水生产设备若是出现这种故障，那么一定是系统有漏压的现象，第一种可能是原水压力不够，第二种可能是逆止阀出现了泄压故障，第三种可能是高压开关出现故障，这些故障都会导致机器在水满后出现反复起跳的现象。
2、压力桶水满情况下纯水没有流出。此时应查看压力桶球阀是否有损坏现象或是压力桶出现了漏压的故障，同时若是后置活性炭被堵塞也会导致这种故障出现。
3、废水和纯水出现严重的比例失调。这种情况下，首先应先检查冲洗电磁阀有没有故障，是否已经损坏。其次是查看废水比例器，过于导通或是被堵塞都会导致故障出现。最后排除是否是由于反渗透膜被堵塞而导致它的滤除率严重下降所致。
4、主机反复冲洗。这种故障一是因为冲洗开关松动导致的，二是因为废水比失效所导致的，基本上只有这两种可能。超纯水设备厂在生产电子、半导体、液晶显示、光伏的过程中，往往需要使用极其纯净的超纯水如果纯水水质达不到生产工艺用水的要求或者水质不稳定的话，会影响到后续工艺的处理效果和使用寿命。
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