|
|
|
|
固态压阻式传感器 |
|
|
|
固态压阻式传感器(solid-state piezoresistive sensor)是近年来发展起来的新型传感器。由于它的原理是基于半导体材料的压阻效应，所以很多书上也称之为半导体应变式传感器。
半导体材料在机械应力的作用下，使得材料本身的电阻率发生了较大的变化，这种现象叫做压阻效应。这与金属电阻的应变效应有根本的区别。晶体在应力作用下，晶格间的载流子（空穴、电子）的相互作用发生了变化，从能量的角度来看，原子结构中的导带和价带之间的禁带宽度发生了变化，这就影响了导带中载流子数目，同时又使载流子的迁移率发生变化，因此晶体的电阻率发生了变化，半导体应变片的应变灵敏系数要比金属应变片大几十倍至一百多倍。通常把半导体应变式传感器称之为压阻式传感器。
半导体晶片的压阻效应的方向性很强，对于一个给定的半导体晶片来说，在某一晶格方向上压阻效应最显著，而在其他方向上压阻效应就较小或不会出现。
固态压阻式传感器 |
|
|
|
 相关技术论坛： |
|
| 相关技术论文： |
|
|
