电容性接近传感器的基本组成单元与电感性接近传感器是非常相似的。但是检测组件是一个以检测端和接地为两极的静电电容和高频振荡器组成。其基本工作原理如图所示﹐通常检测电极与接地之间存在一定的电容量﹐当检测对象接近检测电极的时﹐受检测电极上电压的影响﹐而产生极化现象﹐检测对象越接近检测电极﹐检测电极上的电荷(Charge)增加﹐由于检测电极的电容和电荷成正比﹐检测电极的电容随之增加﹐从而使振荡电路的振荡减弱﹐甚至停止振荡。振荡电路的振荡与停振这两者状态的变化被检测电路转换为开关讯号向外输出。
   
    电容性接近传感器能检测金属物体，也能检测非金属物体，对金属物体可以获得最大的动作距离，对非金属物体动作距离决定于材料的介电常数，材料的介电常数越大，可获得的动作距离越大。