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    激光干涉仪是专为大型五轴加工中心完整的体积测量及补偿而设计的，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪采用一个双光束激光头和一个双通道的处理器，可以测量静态定位误差、角误差、旋转轴误差以及动态性能。
   
    激光干涉仪采用两个平面镜、两个快速界面卡以及相应软件，可以测量用于伺服调整或动态性能的圆和非圆轨迹。每次可同时测量出轴的定位精度、角偏和直线度，测量结果可同时列表或绘图打印出来；激光干涉仪在测量角偏、直线度和平面度时可采用飞行采样方式，在测量过程中无须停机采样检测，节约了测量时间和编程时间；测量得到的位移数据可用来计算实际的进给率、加速度、减速度以及机床的振动。
   
    激光干涉仪可以测量轴的定位精度、重复定位精度及反向间隙；测量轴的角偏、直线度；测量平台的平面度。激光干涉仪常用于检定测长机、校准机床、三座标测量机、X-Y平台的机械、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。

 回复时间：2012/6/11 22:16:00

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