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发表人:hcvac002 发表时间:2013/5/14 9:43:00  

 

 本栏论题: 真空镀膜过程中灰尘的解决方法  [1231]

    
    如果镀膜表面有一层灰尘会影响真空镀膜的整体效果,如何减少灰尘呢?在真空镀膜机加工中,首先是衬底材料的清洗,必须要做到严格合乎工艺要求;其次是真空室内的清洁问题,镀膜一段时间后,真空室内壁必须要清洁处理;还有,使用的源材料要符合必要的纯度要求;最后,样品取出后放置环境也要注意清洁的问题。适当的增加环境的湿度,有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。严格讲,镀膜对工作环境要求非常高,微电子行业的需要在超净工作环境下进行。
    如果不具备这种条件,至少要做到室内空气流动性低、地面干净,如果是裸露的水泥地,需要覆盖处理。墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。工作人员要有专门的服装,操作要戴手套、脚套等。这些不需要太多成本都是可以实现的。此外,技术上你需要明确你允许的最大颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限大致是多少。
   
    汇成真空科技有限公司 专业真空设备制造商http://www.suichenggd.cn/

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