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    如题 急求

 回复时间：2013/6/21 12:55:00

支持(351) | 反对(508)

    使用Kaman-SMT-9700测量系统，电涡流技术，每一个探头都能非接触测量目标的位置，纳米级的分辨率，传感器能够高度重复在腔室内使晶圆片对齐。

 回复时间：2013/8/12 17:21:00

支持(229) | 反对(254)

    SMT-9700 还可以，精度挺高的

 回复时间：2013/8/14 15:45:00

支持(346) | 反对(184)

    在沉淀开始前，Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系，喷洒器用来均匀喷射气体，传感器则用来做校准装置，这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜，制动装置将校正其位置。

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