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资料名称：

松下SQ4系列安全漏液传感器产品样本（中文）

资料简介：

    初期漏液(警报)和异常漏液(紧急停止)、按状态区分的双重检测。在现有设备中增添或替换单件传感器，均可表现出2级检测的优势。在传感器背面设置前端和中心部两个检测部。传感器前方发生漏液时，如果前端检测部检测微量的初期漏液，漏液增多直至中心部，则传感器检测到异常漏液。
    以往，漏液的双重检测是在不同的高度设置两台传感器，现在一台传感器即可检测。
    半导体晶圆的湿法刻蚀工序生产线等的漏液检测。

资料分类：

品牌名称：松下电器（Panasonic）资料

品牌分类：松下传感器资料（松下光幕传感器）

资料种类：产品选型