预处理的作用是对原水进行粗加工。提供符合RO进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体，使SDI≤4。去除游离氯等氧化性物质。去除部分有机物。降低LSI，避免碳酸盐结垢。
在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分。主要原因如下：
(1)传统的预处理过程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后续的一级反渗透系统的运行。而超滤装置的出水SDI值比较稳定(≤1)，能够有效地保证一级反渗透系统的运行。
(2)传统的预处理方式占地面积大，而“粗过滤器+超滤装置”占地面积小，节约了基建费用。
(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比，超滤装置的更换比较方便。
(4)近年来，由于超滤技术的不断成熟，系统能够稳定安全地运行，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，在一次性投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
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