高频感应加热蒸发镀膜技术一般常用于卷绕式真空镀膜设备，是利用线圈电流使镀材获得电流使其升温达到蒸发的温度。在高频感应蒸发镀膜设备中都配置高频发电机组用以提供高频电流，感应线圈设计成螺旋状，而且不只一个线圈，多个线圈分布于真空炉周围，而放置镀材的坩埚放于各线圈的中央位置，镀膜时，高频发电机组使螺旋线圈获得高频电流，在各个线圈作用下，金属镀材获得感应电流，电流使金属镀材产生高温，为了提高感应频率，镀材要处理得非常小，如每块镀材的重量控制在几毫克，可以对每个线圈实施不同的功率调节，可以使镀材可以更均匀的沉积到工件表面上。
运用高频感应加热蒸发镀膜可以大大的提高蒸发的速率，因为是通过高频感应电流所产生的热量比电阻式加热所产生的热量要大10倍，节省蒸发时间，提高蒸发速率，而且蒸发温度稳定，可以避免镀材的飞溅现象，薄膜不会出现针孔的效果，大大提高了薄膜的合格率，在坩埚中放一次镀材就可以完成整个镀膜工序，容易操作，对镀材纯度要求也比电阻式蒸发的要求低些，电阻式要求的是高纯度镀材，需达到99.99%的纯度，而高频感应蒸发只需达到99.9%就可以了，从每一点来看都可以显示出高频感应蒸发镀膜技术降低了镀膜生产成本。
出自汇成真空镀膜设备http://www.suichenggd.cn/
2013-9-16 |
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