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各位高手: 遇到一个技术问题,有一个抽真空的系统,真空仓容积为88L,工作介质为10万级净化空气,要求按预设的气压抽真空,抽真空范围为50Pa-10100Pa之间(属低真空范围),抽真空平衡后,气压控制精度为1±%(按度数值),请问,这样的气压控制精度能达到吗?传感器测量精度能否满足要求?怎样控制?提示一下,目前有采用电磁阀关断控制,还达不到1±%的气压控制精度。 以上问题请各位帮帮忙,在下将不胜感激!
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